中圖儀器國內自研高分辨率掃描電子顯微鏡采用的鎢燈絲電子槍，發射電流大、穩定性好，以及對真空度要求不高。臺式電鏡無需占據大量空間來容納整個電鏡系統，這使其甚至能夠出現在用戶日常工作的桌面上，在用戶手邊實時呈現所得結果。
此外，中圖儀器臺式電鏡也可以進入手套箱、車廂還是潛水器等狹小空間內大顯身手。即便在一些常規電鏡難以耐受的工作環境中，該系列臺式電鏡也能憑借抗振防磁技術，展現出色的性能。
產品功能
1.高分辨率，滿足用戶觀測需求；
2.快速抽放氣，縮短等待時間；
3.高易用性
可快速成像，一鍵成片；
4.多種成像參數
滿足專業用戶的調節需求；
5.高抗振防磁性能
強抗干擾能力；
6.可選配低真空模式，保證用戶能夠根據需要設定電鏡樣品倉內真空度，進而對不同類型的樣品進行觀測。
7.大樣品倉
SEM3000A在保證較小外形尺寸同時，具有比肩立式電鏡的大倉室，從而容納更大尺寸樣品；
8.多探測器
可實現四分窗同時掃描成像。
機型選擇
CEM3000A（大樣品倉型）：70mm×70mm樣品倉，兼容大尺寸或多樣品批量分析。
CEM3000B（抗振型）：專為振動環境設計，抽氣更快（低真空僅40秒），成像更穩定。
應用場景
材料科學：納米材料（如60nm銀線）、高熵合金粉末、氧化鋅等微觀結構分析。
新能源：太陽能電池板缺陷檢測、涂層性能評估。
生物醫療：微流控芯片表面形貌觀測、藥物載體研究。
工業質檢：錫球顆粒焊接質量、精密器件表面粗糙度檢測。
應用案例
中圖儀器國內自研高分辨率掃描電子顯微鏡樣品一鍵裝入，自動導航和一鍵出圖能力（自動聚焦+自動消像散+自動亮度對比度）幫助用戶在短短幾十秒內就可獲取高清圖像，大大提升了使用效率。
金屬材料分析
花粉微觀形態
部分技術指標
型號 | CEM3000A（大樣品倉型） | |
電子槍 | 燈絲 | 鎢燈絲 |
分辨率 | 優于4nm(SE)，優于8nm(BSE) @20kV | |
加速電壓 | 1 ~ 20kV | |
放大倍數 | 電子圖：40 ~ 200,000×（可選配大圖拼接） | |
探測器 | 二次電子 | 標配 |
背散射電子 | 標配（四象限高分辨探頭） | |
能譜儀 | 選配 | |
自動化軟件 | 標配：自動合軸、自動聚焦、自動消像散、一鍵圖像增強 | |
選配：顆粒度統計、孔隙率測量、纖維測量、三維粗糙度重建 | ||
真空系統 | 真空度 | 高真空：優于9×10-3Pa 低真空：5 ~ 100 Pa（選配） |
抽真空時間 | 低真空模式 < 1.5min 高真空模式 < 3min | |
樣品臺 | 自動軸 | X，Y，T |
手動軸 | R，Z | |
行程范圍 | X: 50mm | |
Y: 50mm | ||
R: 0°~360°（手動旋轉、電子束旋轉） | ||
T: -22.5°~ +22.5° | ||
Z: 45mm | ||
樣品尺寸 | 70mm×70mm（水平） 45mm（高度） | |
倉內相機 | 導航相機 | 標配高分辨彩色相機 |
側視相機 | 標配高分辨紅外相機 | |
操作系統 圖片尺寸 | Windows10 (64bit) | |
640×480 | ||
1280×960 | ||
2560×1920 | ||
5120×3840 | ||
10240×7680 | ||
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