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無線TC-WAFER晶圓溫度測量系統在半導體制造中扮演著至關重要的角色，其重要方面可以歸納如下：

1. 實時性

• 關鍵性：在半導體制造過程中，溫度變化是影響產品質量和產量的關鍵因素。

• 功能實現：無線TC-WAFER測量系統能夠提供實時的溫度數據，使操作人員能夠及時調整生產設備的工藝參數，確保制程中的溫度保持在相對穩定的狀態，從而實現高效高質量的生產。

2. 精度和準確性

• 重要性：溫度測量的精度和準確性對于工藝參數的控制和產品質量具有重要影響。

• 技術特點：該系統采用兩塊硅片夾著電路，接觸面更廣，測量溫度更加準確。采用溫度IC傳感器，精度可達±0.1℃/±0.2℃，能夠準確測量晶圓表面的溫度。

3. 穩定性和可靠性

• 性能表現：無線TC-WAFER晶圓溫度測量系統具有穩定的性能和可靠的工作能力。

• 續航與便攜：系統僅需要充電20分鐘，即可實現連續工作3小時，且配備便攜式充電盒，支持長時間的連續工作而不會出現故障或誤差。

4. 無線通信

• 功能描述：該系統通常具備無線通信功能，通過藍牙連接主控芯片讀取數據，將溫度數據傳輸到數據采集系統或監控中心。

• 優勢：通信系統具有穩定的連接和高效的數據傳輸能力，便于遠程監控和數據管理。

5. 數據分析和記錄

• 功能實現：系統能夠對采集到的溫度數據進行分析和記錄，以便后續的工藝優化和質量控制。

• 數據呈現：通過數據采集盒將數據生成EXCEL表格進行保存，同時以彩色云圖的形式直觀展示溫度分布狀況，便于用戶理解和分析。

6. 適應性

• 應用場景：由于半導體制造工藝的復雜性和多樣性，無線TC-WAFER晶圓溫度測量系統需要具備一定的適應性，能夠適用于不同工藝條件下的溫度測量需求。

• 應用實例：該系統通常應用于涂膠顯影設備、前段刻蝕Front Track Systems、靜電卡盤(ESC)、加熱板Hot Plates、致冷盤Cold Plates、光刻HMDS Chambers等多種半導體設備中。

7. 安全性

• 重要性：在半導體制造環境中，安全性是至關重要的。

• 符合標準：無線TC-WAFER晶圓溫度測量系統必須符合相關的安全標準和規定，以確保不會對工藝操作和人員安全造成任何危害。

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8. 定制性

• 靈活性：TC-Wafer晶圓測溫系統支持定制服務，如傳輸通道數量、測溫點數、傳感器引線等均可根據客戶需求進行定制。

• 應用范圍：這使得該系統能夠更廣泛地應用于各種半導體制造場景中，滿足不同客戶的特定需求。

無線TC-WAFER晶圓溫度測量系統以其實時性、高精度、高穩定性、無線通信、數據分析與記錄、適應性強、安全性高以及定制性靈活等特點，在半導體制造過程中發揮著重要作用。